5 problemi comuni delle pompe per vuoto nella produzione di semiconduttori e come risolverli Nel mondo ultrapreciso della produzione di semiconduttori, i sistemi di vuoto sono gli eroi non celebrati. Creano e mantengono gli ambienti incontaminati necessari per processi critici come la deposizione chimica da vapore (CVD), l'attacco e l'impianto di ioni. Tuttavia, quando una pompa per vuoto si guasta o presenta prestazioni inferiori, non si verifica solo un lieve ritardo; può portare a catastrofiche perdite di rendimento, costosi tempi di inattività degli strumenti ed eventi di contaminazione che mettono a repentaglio interi lotti di produzione. Questa guida descrive nel dettaglio i cinque problemi più comuni e costosi delle pompe per vuoto negli impianti di fabbricazione di semiconduttori (FAB). Ne esploreremo le cause profonde, forniremo soluzioni attuabili e spiegheremo come selezionare fin dall'inizio la giusta tecnologia di pompaggio sia la strategia preventiva più efficace.
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